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真(zhen)空計量泵(bèng)泵的選用(yong)

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1、真(zhen)空泵的工(gōng)作壓強應(yīng)該滿足真(zhēn)空設備的(de)極限真🔴空(kong)及工⛷️作壓(yā)強要求。如(rú):真空鍍膜(mo)要求1×10-5mmHg的真(zhen)空度,選用(yong)的真空泵(beng)的真空度(du)至🔅少要5×10-6mmHg。通(tōng)常選擇泵(bèng)的真空度(du)要高于真(zhēn)空💋設備真(zhen)空度半個(gè)到一個數(shu)量級。

  2、正确(què)地選擇真(zhen)空泵的工(gong)作點。每種(zhong)泵都有一(yī)定的工作(zuo)🔞壓強範圍(wei),如:擴散泵(bèng)為10-3~10-7mmHg,在這樣(yang)寬壓強範(fan)圍内🏃🏻,泵的(de)抽速随壓(ya)強而變化(huà),其穩定的(de)工作壓強(qiang)範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因(yīn)而,泵的工(gong)作點應✌️該(gāi)選在這個(ge)範圍之内(nei),而不能讓(rang)它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又(yòu)如钛升華(hua)泵可以在(zài)10-2mmHg下工作,但(dan)其工作壓(yā)強應小于(yu)1×10-5mmHg為好。

  3、真空(kong)泵在其工(gōng)作壓強下(xià),應能排走(zǒu)真空設備(bèi)工藝過程(chéng)中産生的(de)全部氣體(tǐ)量。

  4、正确地(dì)組合真空(kong)泵。由于真(zhēn)空泵有選(xuan)擇性抽氣(qi),因而,有😍時(shí)選☀️用一種(zhong)泵不能滿(man)足抽氣要(yào)求,需要幾(ji)種🌈泵組合(he)起來,互相(xiàng)補充才能(neng)滿足抽氣(qi)要求。如钛(tài)升華泵對(dui)氫有很高(gāo)的抽速,但(dàn)不能抽氦(hài)‼️,而三極型(xing)濺射離子(zi)泵,(或二極(jí)型非對稱(chēng)陰極濺射(she)離☀️子泵)對(duì)氩♋有一定(dìng)的抽速,兩(liǎng)者組合起(qǐ)來,便會使(shǐ)真空裝置(zhi)得到較好(hao)的真空度(du)。另外,有的(de)真🏃‍♀️空泵不(bu)能在大氣(qì)壓下工作(zuo),需要預真(zhen)☎️空;有的真(zhēn)空泵出口(kou)壓強低于(yú)大氣壓,需(xu)要前級泵(bèng),故都需要(yào)把泵組合(he)起來使用(yong)。

  5、真空設備(bei)對油污染(rǎn)的要求。若(ruò)設備嚴格(ge)要求無油(yóu)時,應該選(xuǎn)各種無油(yóu)泵,如:水環(huan)泵、分子篩(shai)吸附泵、濺(jiàn)射離子泵(beng)♈、低溫泵等(děng)。如果要求(qiu)不嚴格,可(kě)以選擇有(yǒu)⭐油泵,加上(shang)一些防油(yóu)污染措施(shi),如加冷阱(jǐng)、障闆、擋油(you)阱等,也能(néng)達到清潔(jié)真空要求(qiu)。

  6、了解被抽(chou)氣體成分(fen),氣體中含(hán)不含可凝(níng)蒸氣,有無(wu)顆🚶粒灰塵(chen),有無腐蝕(shi)性等。選擇(ze)真空泵時(shí),需要知道(dao)氣體成分(fen),針對被抽(chōu)氣體選擇(zé)相應的泵(beng)。如果氣體(ti)中含有👉蒸(zhēng)氣、顆粒、及(ji)腐蝕性氣(qì)體,應該考(kao)慮在泵的(de)進氣口管(guan)路上安裝(zhuang)✉️輔助設備(bei),如冷凝器(qi)、除塵器等(děng)。

  7、真空泵排(pai)出來的油(you)蒸氣對環(huán)境的影響(xiang)如何。如果(guǒ)環👈境不允(yǔn)許💰有污染(rǎn),可以選無(wu)油真空泵(bèng),或者把油(yóu)蒸氣排到(dào)室外。

  8、真空(kōng)泵工作時(shí)産生的振(zhèn)動對工藝(yi)過程及環(huán)境有無影(yǐng)響。若工藝(yì)過程不允(yun)許,應選擇(ze)無振動的(de)泵或者采(cai)取防振動(dòng)措施。

  9、真空(kong)泵的價格(gé)、運轉及維(wei)修費用。


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